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发明名称
CHEMICAL CONTROL UNIT OF SEMICONDUCTOR CLEANING APPARATUS HAVING LIGHTING TOOL
摘要
申请公布号
KR20060034997(A)
申请公布日期
2006.04.26
申请号
KR20040084060
申请日期
2004.10.20
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
GO, SANG KOOK
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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