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发明名称 EQUIPMENT AND APPLIED SYSTEM OF EFFUSION CELL FOR DOWNWARD COATING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060034812(A) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 KR20040083796 申请日期 2004.10.20
申请人 ALPHA PLUS CO., LTD. 发明人 HWANG, DO WEON;KIM, EUN DO;JUNG, MYOUNG HYO;KIM, CHANG DO;KANG, HO YOUNG
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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