发明名称 氧化物固溶体粉末
摘要 本发明提供可用作研磨材料、并且在用作研磨材料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料时,能够获得高研磨面精度的被研磨面,非常适合用作研磨材料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中,能够提高化学研磨力,并能够得到更高的研磨面精度。
申请公布号 CN1764601A 申请公布日期 2006.04.26
申请号 CN200580000085.2 申请日期 2005.01.06
申请人 三井金属鉱业株式会社 发明人 小仓宗二;加藤和彦
分类号 C01F17/00(2006.01);B01J23/10(2006.01);C09K3/14(2006.01) 主分类号 C01F17/00(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 范征
主权项 1、氧化物固溶体粉末,其特征在于,钙氧化物固溶于以铈氧化物为主成分的稀土类氧化物。
地址 日本东京
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