| 主权项 |
1.一种用于半导体制造环境中分离制程步骤的方 法,其系以电脑执行之,其包括: 撷取与制造程序关联之制造资讯,其中上述制造资 讯包括复数制程步骤对; 将上述制造资讯至少区分为高値群和低値群,其系 以第一统计方法为之; 以第二统计方法处理上述高値群和上述低値群,计 算出对应于每一制程步骤对的数値; 依据计算得出之上述数値,将上述制程步骤对排序 ; 从经过排序之上述复数制程步骤对中删除至少一 制程步骤对;以及 分析未被删除之上述排序的制程步骤对,以确认上 述制程步骤之删除。 2.如申请专利范围第1项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,其中删除制程步骤对的 步骤包含计算每一制程步骤对的关联分数,其系依 据每一制程步骤对与其他具有相同之上述数値的 制程步骤对之间的关系来决定。 3.如申请专利范围第2项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,当上述制程步骤对包含 于另一制程步骤对时,修改上述制程步骤对所对应 之上述关联分数。 4.如申请专利范围第3项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,进一步依据上述关联分 数,将上述制程步骤对排序。 5.如申请专利范围第3项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,其中上述制程步骤对包 含其他具有较高关联分数的制程步骤对时,将上述 制程步骤对删除。 6.如申请专利范围第1项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,进一步藉由确认之上述 制程步骤改变上述制造程序。 7.如申请专利范围第1项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,其中上述第一统计方法 为统计群集方法。 8.如申请专利范围第1项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,其中上述第二统计方法 为无母数统计方法。 9.如申请专利范围第1项所述之用于半导体制造环 境中分离制程步骤的方法,进一步定义用以撷取上 述制造资讯之复数参数,其中上述参数界定不予撷 取之步骤时间窗及复数制程步骤。 10.一种用于半导体制造环境中自动确认关键制程 步骤的方法,其包括: 将代表制程步骤对之制造资讯至少区分为高値群 和低値群,其系以第一统计方法为之; 以第二统计方法处理上述高値群和上述低値群,计 算出对应于每一制程步骤对的P-value数値; 依据计算得出之上述P-value数値,将上述制程步骤 对排序,并将具有相同P-value数値的制程步骤对归 为一P-value群组; 计算每一上述P-value群组中每一制程步骤对的关联 分数,并依据上述关联分数,将上述P-value群组中之 上述制程步骤对排序;以及 删减上述P-value群组中之上述制程步骤对,其系当 上述制程步骤对包含其他具有较高关联分数的制 程步骤对时,将上述制程步骤对删除。 11.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,进一步依据 四分位数差距计算上限和下限,并删除高于上述上 限之数値以及低于上述下限之数値。 12.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中计算制 程步骤对的关联分数之步骤包含决定上述制程步 骤对所占的时段是否包含于上述P-value群组中另一 制程步骤对所占的时段中。 13.如申请专利范围第12项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,当上述制程 步骤对所占的时段系包含于上述P-value群组中另一 制程步骤对所占的时段中时,增加上述制程步骤对 的关联分数。 14.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述制 程步骤对以P-value递增之顺序排序,并以递减之关 联分数的顺序排序。 15.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,进一步针对 分析经删减之上述制程步骤对,以确认关键制程步 骤。 16.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,进一步定义 步骤时间窗,并依据上述步骤时间窗撷取上述制造 资讯。 17.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述制 造资讯系撷取自制造执行系统(MES)。 18.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,进一步选取 至少一制程步骤对,并将之从上述制造资讯中排除 。 19.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述第 一统计方法为统计群集方法。 20.如申请专利范围第19项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述第 一统计方法为多变数变异分析(MANOVA)方法。 21.如申请专利范围第10项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述第 二统计方法为无母数统计方法。 22.如申请专利范围第21项所述之用于半导体制造 环境中自动确认关键制程步骤的方法,其中上述第 二统计方法为克瓦二氏(Kruskal-Wallis)方法。 23.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式可载入于一电脑系统并且执行下述之于半导 体制造环境中自动确认关键制程步骤的方法,上述 方法包括: 接收与制造程序关联之制造资讯,其中上述制造资 讯包括复数制程步骤对; 将代表制程步骤对之制造资讯至少区分为高値群 和低値群,其系以第一统计方法为之; 以第二统计方法处理上述高値群和上述低値群,计 算出对应于每一制程步骤对的P-value数値; 依据计算得出之上述P-value数値,将上述制程步骤 对排序,并将具有相同P-value数値的制程步骤对归 为一P-value群组; 计算每一上述P-value群组中每一制程步骤对的关联 分数,并依据上述关联分数,将上述P-value群组中之 上述制程步骤对排序;以及 删减上述P-value群组中之上述制程步骤对,其系当 上述制程步骤对包含其他具有较高关联分数的制 程步骤对时,将上述制程步骤对删除。 24.如申请专利范围第23项所述之储存媒体,其中上 述方法计算制程步骤对的关联分数之步骤包含决 定上述制程步骤对所占之时段是否包含于上述P- value群组中另一制程步骤对所占的时段中。 25.如申请专利范围第24项所述之储存媒体,当上述 制程步骤对所占之时段系包含于上述P-value群组中 另一制程步骤对所占的时段中时,上述方法增加上 述制程步骤对的关联分数。 图式简单说明: 第1图显示依据本发明实施例之用于半导体制造环 境中自动确认关键制程步骤的方法的流程图。 第2图显示依据本发明实施例之半导体制造环境的 示意图。 第3图显示第1图所示方法细部步骤的流程图。 第4图显示应用于本发明实施例之制程步骤对之示 意图。 第5图显示应用于本发明实施例之制程步骤对之示 意图。 第6图显示具有相同的P値之每一组制程步骤对所 占的时段的示意图。 第7图显示依据本发明实施例之储存媒体示意图。 |
