| 主权项 |
1.一种协调管制界限与机台效能的方法,用以根据 复数控制图决定统计制程管制系统中之一第一管 制界限,包括下列步骤: 定义至少一图片属性; 将上述图片属性与上述复数控制图产生关联; 根据上述图片属性决定一第二管制界限;以及 根据上述第二管制界限修正上述第一管制界制。 2.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其更包括下列步骤: 对上述复数控制图分组,从而取得至少一图表群组 ; 根据上述复数控制图之管制界限定义上述图表群 组之百分値;以及 根据上述百分値决定上述图表群组之管制界限。 3.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,上述图片属性包括一节点类 型,其用以说明上述复数控制图之管制界限之复检 频率。 4.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,上述图片属性包括一管制方 法,其用以指定上述复数控制图之管制界限计算结 果之统计値。 5.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,上述图片属性包括一制程类 别,其用以对上述复数控制图进行分类以控制使用 于相同制程之上述复数控制图。 6.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,产生上述第二管制界限之步 骤中,当上述图片属性载明之复检间隔到期时,撷 取上述复数控制图之图点资料,并且计算上述图片 属性中指定之统计値。 7.如申请专利范围第6项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,产生上述第二管制界限之步 骤中,在取得每一上述复控制图之上述统计値后, 指定上述统计値为上述控制图之管制界限。 8.如申请专利范围第1项所述的协调管制界限与机 台效能的方法,其中,产生关联之步骤中,上述复数 控制图之关联性储存于一资料库中,其用以做为上 述管制界限之计算结果。 9.一种协调管制界限与机台效能的系统,用以根据 复数控制图决定统计制程管制系统中之一第一管 制界限,包括: 一管制界限管理单元,其用以定义至少一图片属性 ,将上述图片属性与上述复数控制图产生关联,根 据上述图片属性决定一第二管制界限,根据上述第 二管制界限修正上述第一管制界制。 10.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述管制界限管理单元对上 述复数控制图分组,从而取得至少一图表群组,根 据上述复数控制图之管制界限定义上述图表群组 之百分値,然后根据上述百分値决定上述图表群组 之管制界限。 11.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述图片属性包括一节点类 型,其用以说明上述复数控制图之管制界限之复检 频率。 12.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述图片属性包括一管制方 法,其用以指定上述复数控制图之管制界限计算结 果之统计値。 13.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述图片属性包括一制程类 别,其用以对上述复数控制图进行分类以控制使用 于相同制程之上述复数控制图。 14.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述管制界限管理单元于上 述图片属性载明之复检间隔到期时,撷取上述复数 控制图之图点资料,并且计算上述图片属性中指定 之统计値。 15.如申请专利范围第14项所述的协调管制界限与 机台效能的系统,其中,在取得每一上述复控制图 之上述统计値后,指定上述统计値为上述控制图之 管制界限。 16.如申请专利范围第9项所述的协调管制界限与机 台效能的系统,其中,上述复数控制图之关联性储 存于一资料库中,其用以做为上述管制界限之计算 结果。 17.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式包括复数程式码,其用以执行一种微影制程重 叠控制方法,上述方法包括下列步骤: 定义至少一图片属性; 将上述图片属性与上述复数控制图产生关联; 根据上述图片属性决定一第二管制界限;以及 根据上述第二管制界限修正上述第一管制界制。 18.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其更包 括下列步骤: 对上述复数控制图分组,从而取得至少一图表群组 ; 根据上述复数控制图之管制界限定义上述图表群 组之百分値;以及 根据上述百分値决定上述图表群组之管制界限。 19.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,上 述图片属性包括一节点类型,其用以说明上述复数 控制图之管制界限之复检频率。 20.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,上 述图片属性包括一管制方法,其用以指定上述复数 控制图之管制界限计算结果之统计値。 21.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,上 述图片属性包括一制程类别,其用以对上述复数控 制图进行分类以控制使用于相同制程之上述复数 控制图。 22.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,当 上述图片属性载明之复检间隔到期时,撷取上述复 数控制图之图点资料,并且计算上述图片属性中指 定之统计値。 23.如申请专利范围第22项所述的储存媒体,其中,在 取得每一上述复控制图之上述统计値后,指定上述 统计値为上述控制图之管制界限。 24.如申请专利范围第17项所述的储存媒体,其中,上 述复数控制图之关联性储存于一资料库中,其用以 做为上述管制界限之计算结果。 图式简单说明: 第1图系显示习知技术之管制界限与机台效能间关 系之示意图。 第2图系显示本发明之协调管制界限与机台效能的 系统架构图。 第3图系显示本发明之协调管制界限与机台效能的 方法之步骤流程图。 第4图系显示本发明之控制图与图片属性间之关联 性之示意图。 |
