废气之吸附过滤装置

摘要

【物品用途】本创作系有关于一种废气之吸附过滤装置，尤其指用于制造半导体晶圆所产生之废气吸附过滤者。【创作特点】本创作废气之吸附过滤装置的外观特点在于：其吸附过滤装置为呈竖向站立之矩形盒体，于吸附过滤装置左侧壁之上、下方分别设以净气排出口及废气导入口，且吸附过滤装置底面及上端面分别设有数移动轮及数钩吊凸环，并吸附过滤装置之前壁四周组设有诸多定位螺帽者。