| 主权项 |
1.一种光敏性聚合物,包括: 10至90莫耳%的具有下式之烷基乙烯醚单体;及 10至90莫耳%的选自由下式各化合物组成之群之至 少一种单体;丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生 物、富马酸酯衍生物、4-羟基苯乙烯衍生物及降 烯衍生物,具有自4至20个碳原子之酸不稳定烃; 又该光敏性聚合物具有3,000至50,000之重量平均分 子量: 其中x是自3至6(包括3和6)之一个整数,R1和R2独立是 具有1至20个碳原子之烷基、具有1至10个碳原子之 氟化烷基及具有1至10个碳原子之全氟化烷基之至 少一者。 2.如申请专利范围第1项之光敏性聚合物,其中R1和R 2独立是三氟甲基。 3.如申请专利范围第1项之光敏性聚合物,其中该聚 合物包括具有下式之共聚物: 其中R3选自由氢原子和甲基所组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,m和n两者都 是整数,而m/(m+n)是在0.1至0.9之范围内。 4.如申请专利范围第3项之光敏性聚合物,其中R4系 选自由第三-丁基,四氢喃基和1-乙氧基乙基所组 成之群。 5.如申请专利范围第3项之光敏性聚合物,其中R4包 括具有自6至20个碳原子之第三-脂环族烃。 6.如申请专利范围第5项之光敏性聚合物,其中第三 -脂环族烃系选自由下列各基组成之群:2-甲基-2-降 基,2-乙基-2-降基,2-甲基-2-异基,2-乙基-2-异 基,8-甲基-8-三环[5.2.1.02,6]癸烷基,8-乙基-8-三环[ 5.2.1.02,6]癸烷基,2-甲基-2-金刚烷基,2-乙基-2-金刚 烷基,2-丙基-2-金刚烷基,2-甲基-2-小茴香基和2-乙 基-2-小茴香基。 7.如申请专利范围第1项之光敏性聚合物,其中该聚 合物包括具有下式之共聚物: 其中R5包括具有自4至10个碳原子之酸不稳定烃基 团,m和n两者都是整数,而m/(m+n)是在0.1至0.9的范围 内。 8.如申请专利范围第7项之光敏性聚合物,其中R5包 括一种酸不稳定酯。 9.如申请专利范围第8项之光敏性聚合物,其中该酸 不稳定酯基团系选自由下列各基酯组成之群:第三 -丁酯,四氢喃基酯及1-乙氧基乙酯。 10.如申请专利范围第1项之光敏性聚合物,其中该 聚合物包括具有下式之三共聚物: 其中R3系选自由氢原子和甲基组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有 自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,p和q都是整 数,而m/(m+p+q)系在0.1至0.4范围内,p/(m+p+q)系在0.1至0. 4之范围内,而q/(m+p+q)系在0.1至0.5之范围内。 11.一种光敏性聚合物,包括: 10至90莫耳%的具有下式之烷基乙烯醚单体;及 不大于50莫耳%之马来酸酐单体,其中该光敏性聚合 物具有3,000至50,000之重量平均分子量: 其中x是自3至6(包括3与6)之一个整数,R1与R2独立是 具有自1至20个碳原子之烷基,具有自1至10个碳原子 之氟化烷基及具有自1至10个碳原子之全氟化烷基 的至少一者。 12.如申请专利范围第11项之光敏性聚合物,其中R1 与R2独立是三氟甲基。 13.如申请专利范围第11项之光敏性聚合物,其中该 聚合物包括具有下式之一的三共聚物: 或 其中R3系选自由氢原子和甲基组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有 自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,n,p与q都是整 数,m/(m+n+q)系在0.1至0.4之范围内,n/(m+n+q)系在0.1至0. 5之范围内,q/(m+n+q)系在0.1至0.5之范围内,m/(m+n+p)系 在0.1至0.4之范围内,n/(m+n+p)系在0.1至0.5之范围内p/( m+n+p)系在0.1至0.4之范围内。 14.如申请专利范围第13项之光敏性聚合物,其中R4 系选自由第三-丁基、四氢喃基和1-乙氧基乙基 组成之群。 15.如申请专利范围第13项之光敏性聚合物,其中R4 包括具有自6至20个碳原子之第三脂环族烃。 16.如申请专利范围第15项之光敏性聚合物,其中第 三脂环族烃系选自由下列各基组成之群:2-甲基-2- 降基,2-乙基-2-降基,2-甲基-2-异基,2-乙基-2- 异基,8-甲基-8-三环[5.2.1.02,6]癸烷基,8-乙基-8-三 环[5.2.1.02,6]癸烷基,2-甲基-2-金刚烷基,2-乙基-2-金 刚烷基,2-丙基-2-金刚烷基,2-甲基-2-小茴香基及2- 乙基-2-小茴香基。 17.如申请专利范围第13项之光敏性聚合物,其中R5 包括一种酸不稳定酯。 18.如申请专利范围第17项之光敏性聚合物,其中该 酸不稳定酯系选自由第三-丁酯、四氢喃基酯和 1-乙氧基乙酯组成之群。 19.如申请专利范围第11项之光敏性聚合物,其中该 聚合物包括具有下式之四共聚物: 其中R3系选自氢原子和甲基组成之群,R4包括具有 自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有自4 至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,n,p与q都是整数, m/(m+n +p+q)系在0.1至0.4之范围内,n/(m+n+p+q)系在0.1至0 .5之范围内,p/(m+n+p+q)系在0.1至0.4之范围内而q/(m+n+p +q)系在0.1至0.5之范围内。 20.一种光阻性组合物,包括: 一种光敏性聚合物其具有10至90莫耳%的下式之烷 基乙烯醚单体及10至90莫耳%的选自由下列各化合 物组成之群之至少一种单体:丙烯酸酯衍生物,甲 基丙烯酸酯衍生物、富马酸酯衍生物、4-羟基苯 乙烯衍生物和降烯衍生物,具有自4至20个碳原子 之酸不稳定烃,又该光敏性聚合物具有3,000至50,000 的重量平均分子量;及 以该光敏性聚合物之重量为基准,1.0至15重量%的光 酸产生剂("PAG"): 其中x是自3至6(包括3和6)之一个整数,R1和R2独立是 具有1至20个碳原子之烷基、具有1至10个碳原子之 氟化烷基及具有1至10个碳原子之全氟化烷基之至 少一者。 21.如申请专利范围第20项之光阻性组合物,其中R1 与R2独立是三氟甲基。 22.如申请专利范围第20项之光组性组合物,其中该 聚合物包括具有下式之共聚物: 其中R3系选自由氢原子和甲基所组成之群,R4包括 具有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,m和n两者 都是整数,而m/(m+n)是在0.1至0.9之范围内。 23.如申请专利范围第22项之光阻性组合物,其中R4 系选自由第三-丁基、四氢喃基和1-乙氧基乙基 所组成之群。 24.如申请专利范围第22项之光阻性组合物,其中R4 包括具有自6至20个碳原子之第三-脂环族烃。 25.如申请专利范围第24项之光阻性组合物,其中该 第三-脂环族烃系选自由下列各基组成之群:2-甲基 -2-降基、2-乙基-2-降基,2-甲基-2-异基,2-乙 基-2-异基,8-甲基-8-三环[5.2.1.02,6]癸烷基,8-乙基- 8-三环[5.2.1.02,6]癸烷基,2-甲基-2-金刚烷基,2-乙基-2 -金刚烷基、2-丙基-2-金刚烷基,2-甲基-2-小茴香基 和2-乙基-2-小茴香基。 26.如申请专利范围第20项之光阻性组合物,其中该 聚合物包括具有下式之共聚物: 其中R5包括有自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m 和n两者都是整数,而m/(m+n)是在0.1至0.9之范围内。 27.如申请专利范围第26项之光阻性组合物,其中R5 包括一种酸不稳定酯。 28.如申请专利范围第27项之光阻性组合物,其中该 酸不稳定酯基团系选自由下列各酯组成之群:第三 -丁酯、四氢喃基酯及1-乙氧基乙酯。 29.如申请专利范围第20项之光阻性组合物,其中该 聚合物包括具有下式之三共聚物: 其中R3系选自由氢原子和甲基组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有 自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,p和q都是整 数,而m/(m+p+q)系在0.1至0.4之范围内,p/(m+p+q)系在0.1 至0.4之范围内,而q/(m+p+q)系在0.1至0.5之范围内。 30.如申请专利范围第20项之阻体组合物,其中光酸 产生剂("PAG")包括三芳基盐、二芳基碘盐和磺 酸盐之至少一种。 31.如申请专利范围第20项之阻体组合物,另外包括 以光敏性聚合物的重量为基准0.01至20重量%之有机 硷。 32.如申请专利范围第31项之阻体组合物,其中该有 机硷包括三乙胺、三异丁胺、三异辛胺、二乙醇 胺和三乙醇胺之至少一者。 33.一种阻体组合物,包括: 一种光敏性聚合物,其具有10至90莫耳%的具有下式 之烷基乙烯醚单体及不大于50莫耳%之马来酸酐单 体并具有3,000至50,000之重量平均分子量;及 基于光敏性聚合物之重量,1.0至15重量%的PAG: 其中x是自3至6(包括3与6)之一个整数,R1与R2独立是 具有自1至20个碳原子之烷基,具有自1至10个碳原子 之氟化烷基及具有自1至10个碳原子之全氟化烷基 的至少一者。 34.如申请专利范围第33项之阻体组合物,其中R1与R2 独立包括三氟甲基。 35.如申请专利范围第33项之阻体组合物,其中该聚 合物包括具有下式之一之三共聚物: 或 其中R3系选自由氢原子和甲基组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有 自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,n,p与q都是整 数,m/(m+p+q)系在0.1至0.4之范围内,n/(m+n+q)系在0.1至0. 5之范围内,q/(m+n+q)系在0.1至0.5范围内,m/(m+n+p)系在0 .1至0.4之范围内,n/(m+n+p)系在0.1至0.5之范围内而p/(m +n+p)系在0.1至0.4之范围内。 36.如申请专利范围第35项之阻体组合物,其中R4系 选自由第三-丁基、四氢喃基和1-乙氧基乙基组 成之群。 37.如申请专利范围第35项之阻体组合物,其中R4包 括具有自6至20个碳原子之第三-脂环族烃。 38.如申请专利范围第37项之阻体组合物,其中第三 脂环族烃系选自由下列各基组成之群:2-甲基-2-降 基,2-乙基-2-降基,2-甲基-2-异基,2-乙基-2-异 基,8-甲基-8-三环[5.2.1.02,6]癸烷基,8-乙基-8-三环[ 5.2.1.02,6]癸烷基,2-甲基-2-金刚烷基,2-乙基-2-金刚 烷基,2-丙基-2-金刚烷基,2-甲基-2-小茴香基及2-乙 基-2-小茴香基。 39.如申请专利范围第35项之阻体组合物,其中R5包 括一种酸不稳定酯。 40.如申请专利范围第39项之阻体组合物,其中该酸 不稳定酯系选自由第三-丁酯,四氢喃基酯和1-乙 氧基乙酯组成之群。 41.如申请专利范围第33项之阻体组合物,其中该聚 合物包括具有下式之四共聚物: 其中R3系选自由氢原子和甲基组成之群,R4包括具 有自4至20个碳原子之酸不稳定烃基团,R5包括具有 自4至10个碳原子之酸不稳定烃基团,m,n,p与q都是整 数,m/(m+n+p+q)系在0.1至0.4之范围内,n/(m+n+p+q)系在0.1 至0.5之范围内,p/(m+n+p+q)系在0.1至0.4之范围内而q/(m +n+p+q)系在0.1至0.5之范围内。 42.如申请专利范围第33项之阻体组合物,其中光酸 产生剂"PAG"包括三芳基盐、二芳基碘盐和磺 酸盐之至少一者。 43.如申请专利范围第33项之阻体组合物,另外包括 以光敏性聚合物的重量为基准为0.01至20重量%之有 机硷。 44.如申请专利范围第43项之阻体组合物,其中该有 机硷包括三乙胺、三异丁胺、三异辛胺、二乙醇 胺和三乙醇胺之至少一者。 |
