发明名称 VACUUM SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20060033956(A) 申请公布日期 2006.04.21
申请号 KR20040083046 申请日期 2004.10.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SUNG IL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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