发明名称 RF PLASMA REACTOR WITH HYBRID CONDUCTOR AND MULTI-RADIUS DOME CEILING
摘要
申请公布号 KR100553483(B1) 申请公布日期 2006.04.21
申请号 KR19970077839 申请日期 1997.12.30
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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