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发明名称
METHOD FOR FORMING TUNGSTEN PLUG
摘要
申请公布号
KR100574645(B1)
申请公布日期
2006.04.21
申请号
KR20040089133
申请日期
2004.11.04
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, JUNG GYU
分类号
H01L21/283
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
主权项
地址
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