发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERBINDUNGSHALBLEITERSICHCHT UND VERBINDUNGSHALBLEITERBAUELEMENT
摘要
申请公布号 DE69929775(D1) 申请公布日期 2006.04.20
申请号 DE1999629775 申请日期 1999.04.12
申请人 SHARP K.K., OSAKA 发明人 TAKAHASHI, KOJI;KAWANISHI, HIDENORI
分类号 H01L21/205;C30B23/02;C30B25/02;H01L21/203;H01L33/00;H01L33/32;H01S5/323 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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