发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERBINDUNGSHALBLEITERSICHCHT UND VERBINDUNGSHALBLEITERBAUELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69929775(D1) |
申请公布日期 |
2006.04.20 |
申请号 |
DE1999629775 |
申请日期 |
1999.04.12 |
申请人 |
SHARP K.K., OSAKA |
发明人 |
TAKAHASHI, KOJI;KAWANISHI, HIDENORI |
分类号 |
H01L21/205;C30B23/02;C30B25/02;H01L21/203;H01L33/00;H01L33/32;H01S5/323 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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