Akselerometer med redusert bakgrunnsvibrasjon pa grunn av forbedret returbevegelse

摘要

Oppfinnelsen vedrører et akselerometer innbefattende en bevegbar masse (5) og en fast del, hvor variasjoner i kapasitansen (3, 4) benyttes for detektering av massens (5) bevegelse. Akselerometeret ifølge oppfinnelsen innbefatter en første serie av elektroder (4) som er fast forbundne med massen (5) og har fingerinngrep med en serie av elektroder (3, 7) som er fast forbundet med den faste del (2). Ifølge oppfinnelsen har hver bevegbar elektrode (4), sammen med en hosliggende fast elektrode (3), en kapasitans som varierer i samsvar med stillingen av den bevegelige masse (5). Akselerometeret innbefatter videre en elektronisk krets som benyttes for detektering av variasjonen til i det minste én kapasitans mellom den bevegbare masse (5) og den faste del, i form av en forskyvningsindikator for den bevegbare masse. Oppfinnelsen er kjennetegnet ved at den tilveiebrakte returbelastning velges spesifikt slik at det mekaniske energifrekvensspektrum (10, 20) har en i hovedsaken nullenergisone ved den mekaniske resonansfrekvensen til elektrodene (4) på den bevegbare masse (5) og/eller den faste del (2).