发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur nasschemischen Präparation von hochreinen Festkörperoberflächen
摘要 Bekannt ist eine Präparationskammer, in der Festkörperoberflächen mit Flüssigkeiten in Kontakt gebracht oder elektrochemisch präpariert werden können. Diese Präparationskammer wurde mit einer UHV-Kammer für Photoelektronenspektroskopie kombiniert, womit sich Änderungen der Oberflächeneigenschaften beobachten lassen. Präparation und Analyse finden dabei sequentiell statt. Aufgabe ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen Festkörperoberflächen und in situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven oder kurzzeitspektroskopischen Methoden, die es ermöglichen, physikalische Prozesse an einer Probe in verschiedenen Umgebungen (Vakuum, Gas, Flüssigkeit) optisch zu untersuchen. DOLLAR A Die Vorrichtung weist eine mit gereinigtem Gas über einen Gaseinlass (5) mit einem Ventil flutbare Hauptkammer (1) als Präparations- und Messraum, einen Probenmanipulator (13) mit einem Probenhalter (9), eine in der Hauptkammer (1) befüll- und verschiebbare Küvette (12) mit einem Flüssigkeitsauslass (11) und eine Turbopumpe (15) auf. Die Hauptkammer (1) ist zum Einschleusen von Proben aus einer separaten UHV-Kammer oder der Raumatmosphäre über ein UHV-Ventil (7c) mit einer UHV-Schleusenkammer () verbunden. DOLLAR A Die Vorrichtung ist zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen, insbesondere vakuumpräparierten Festkörperoberflächen und in situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven, z. B. ...
申请公布号 DE102004014430(A1) 申请公布日期 2006.04.20
申请号 DE200410014430 申请日期 2004.03.19
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH 发明人 ERNSTORFER, RALPH;HANNAPPEL, THOMAS;KUBALA, SVEN;WILLIG, FRANK
分类号 G01N1/32;C23C14/56;C23C16/54;G01N23/22;H01J37/18 主分类号 G01N1/32
代理机构 代理人
主权项
地址