| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von mikromechanische Strukturen aufweisenden Halbleiterbauelementen |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19616014(B4) |
申请公布日期 |
2006.04.20 |
| 申请号 |
DE1996116014 |
申请日期 |
1996.04.23 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA |
| 分类号 |
B81C3/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/58;H01L21/60;H01L25/04 |
主分类号 |
B81C3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
