发明名称 固浸透镜和显微镜
摘要 一种固浸透镜(1),具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此,观察后可以很容易从观察对象物分离,并且观察时可以使高NA的光束通过,本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。
申请公布号 CN1761901A 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN200480007556.8 申请日期 2004.03.19
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 寺田浩敏;荒田育男;坂本繁
分类号 G02B13/00(2006.01);G02B21/02(2006.01);G02B3/04(2006.01);G01N21/17(2006.01) 主分类号 G02B13/00(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项 1.一种固浸透镜,被安装在观察对象物,用于对所述观察对象物的观察,其特征在于:对所述观察对象物的安装面形成环形形状。
地址 日本国静冈县