一种金属/氧化物弥散强化金属多层薄板的制备方法

摘要

本发明涉及一种关于金属/氧化物弥散强化金属多层薄板制备的新工艺。采用电子束物理气相沉积(EB－PVD)方法制备多层薄板。首先加热、蒸镀分离层材料，并使分离层材料的蒸汽在加热的基板上冷凝、沉积，得到分离层；接着在始终加热、蒸镀制备多层薄板所需的金属合金铸锭的基础上，间隔加热、蒸镀起增强作用的氧化物铸锭，使金属和氧化物弥散强化金属交替形成多层膜，待多层膜厚达到一定尺寸后冷却上述基板，并将多层膜从上述基板上分离下来，就得到金属/氧化物弥散强化金属多层薄板。

主权项

1、一种金属/氧化物弥散强化金属多层薄板的制备方法，采用电子束物理气相沉积工艺，其特征在于，包含以下步骤：(1)准备蒸镀用基板和棒状待蒸镀材料铸锭，对基板进行研磨，使基板的表面粗糙度Ra≤1.6mm；(2)将基板安装于基板转轴上，将待蒸镀材料铸锭分别放入水冷铜坩埚中，并将工作室抽真空至1～5×10-3Pa；(3)设定工艺参数，包括基板旋转速度：0～30转/分钟，基板加热温度：取蒸镀材料熔点的0.3～0.6温度范围，铸锭进给速率：0～2mm/min，电子束加速电压：20kV，电子束电流：0～3A，电子束扫描形状：直线、圆形、椭圆形、矩形或波浪线形；(4)加热基板；(5)加热、蒸镀分离层棒料，沉积分离层；(6)停止沉积分离层，在始终加热、蒸镀制备多层薄板所需的金属铸锭的基础上，间隔加热、蒸镀起增强作用的氧化物铸锭，使金属和氧化物弥散强化金属交替形成多层膜；(7)停止电子枪加热，炉冷至200℃以下空冷，取出基板，并从基板上分离多层膜得到金属/氧化物弥散强化金属多层薄板；(8)对制备态金属/氧化物弥散强化金属多层薄板进行后处理。