| 发明名称 |
PROCESSING MACHINE WITH LOCKDOWN ROTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1261831(A4) |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
| 申请号 |
EP20010918293 |
申请日期 |
2001.03.02 |
| 申请人 |
SEMITOOL, INC. |
发明人 |
WEAVER, ROBERT;SCHLAGENHAUFER, RONALD |
| 分类号 |
F26B5/08;H01L21/68;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
F26B5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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