光栅表面质量无损检测方法和装置

摘要

一种光栅表面质量无损检测方法和装置，其核心主要是采用平行光照明待测光栅时，在该光栅的整数泰伯距处形成光栅的泰伯像，然后用纳米光纤探针扫描该泰伯像，并将探测的光信号转变成电信号，再由计算机进行数据处理，即可获得该光栅的周期、均匀性、直线度和整体均匀性等参数，本发明的方法将会成为高密度光栅表面质量检测的一种有用新方法，具有重要的学术价值和应用前景。

主权项

1、一种光栅表面质量无损检测的方法，其特征在于该方法采用平行光照明待测光栅时，在该光栅的整数泰伯距处形成光栅的泰伯像，然后用纳米光纤探针扫描该泰伯像，并将探测的光信号转变成电信号，再由计算机进行数据处理，即可获得该光栅的周期均匀性、直线度和整体均匀性参数：周期均匀性：$\mathrm{\delta d}={[\underset{n=1}{\Sigma }{(d_i-\bar{d})}^2/(n-1)]}^{1/2}$ 式中：di为第i与i+1个光栅线之间的距离测量值，d为测量平均值，n为测量次数；直线度：$\mathrm{\delta L}={[\underset{n=1}{\Sigma }{(L_i-\bar{L})}^2/(n-1)]}^{1/2}$ 式中：Li为所取第i个点到光栅线中线之间的距离测量值，L为测量平均值，n为测量次数；整体均匀性：$\mathrm{\delta u}={[\underset{n=1}{\Sigma }{(u_i-\bar{u})}^2/(n-1)]}^{1/2}$ 式中：ui为第i个峰的测量值，u为测量平均值，n为测量次数。