AN APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILM ON A WAFER,申请号KR20040082097-传众专利搜索

发明名称	AN APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILM ON A WAFER
摘要
申请公布号	KR20060033139(A)	申请公布日期	2006.04.19
申请号	KR20040082097	申请日期	2004.10.14
申请人	INTEGRATED PROCESS SYSTEMS LTD.	发明人	LIM, HONG JOO;LEE, SANG IN;LEE, SAHNG KYU;SEO, TAE WOOK;CHANG, HO SEUNG
分类号	C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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