| 发明名称 |
HIGH RESOLUTION, DYNAMIC POSITIONING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1646912(A2) |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
| 申请号 |
EP20040757003 |
申请日期 |
2004.07.14 |
| 申请人 |
NEWPORT CORPORATION |
发明人 |
JEANNE, ALAIN;DURAND, ERIC;DESAILLY, ROGER |
| 分类号 |
G03B27/58;B25B5/08;G01B11/00;G03B27/42;G03F7/20;H01L;H02K41/00;(IPC1-7):G03B27/58 |
主分类号 |
G03B27/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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