发明名称 非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台
摘要 一种非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台,其特征在于,包括:一带有台阶结构的导体台,该导体台包括水平的下台阶面和倾斜的上台阶面;一落差标尺,该落差标尺制作在上台阶面上。利用该测试台,可以用共面微波探针对各种非共面电极的激光器芯片进行直接、便捷的测量,避免了使用热沉和金丝所带来的不利影响。
申请公布号 CN1760679A 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN200410081182.6 申请日期 2004.10.11
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 陈诚;刘宇;袁海庆
分类号 G01R1/02(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01M11/00(2006.01);H04B10/08(2006.01) 主分类号 G01R1/02(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台,其特征在于,包括:一带有台阶结构的导体台,该导体台包括水平的下台阶面和倾斜的上台阶面;一落差标尺,该落差标尺制作在上台阶面上。
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