发明名称 |
非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台 |
摘要 |
一种非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台,其特征在于,包括:一带有台阶结构的导体台,该导体台包括水平的下台阶面和倾斜的上台阶面;一落差标尺,该落差标尺制作在上台阶面上。利用该测试台,可以用共面微波探针对各种非共面电极的激光器芯片进行直接、便捷的测量,避免了使用热沉和金丝所带来的不利影响。 |
申请公布号 |
CN1760679A |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
申请号 |
CN200410081182.6 |
申请日期 |
2004.10.11 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
陈诚;刘宇;袁海庆 |
分类号 |
G01R1/02(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01M11/00(2006.01);H04B10/08(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/02(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种非共面电极半导体激光器芯片高频特性测试台,其特征在于,包括:一带有台阶结构的导体台,该导体台包括水平的下台阶面和倾斜的上台阶面;一落差标尺,该落差标尺制作在上台阶面上。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |