发明名称 感放射线性树脂组合物
摘要 一种感放射线性树脂组合物,其为含有具有硬化性的碱可溶性树脂(A)、醌二叠氮基化合物(B)和溶剂(C)的感放射线性树脂组合物,其中溶剂(C)为含有乳酸丁酯的溶剂。
申请公布号 CN1760756A 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN200510113729.0 申请日期 2005.10.14
申请人 住友化学株式会社 发明人 八子由子;武部和男
分类号 G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/00(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 孙秀武;邹雪梅
主权项 1.一种感放射线性树脂组合物,其为含有具有硬化性的碱可溶性树脂(A)、醌二叠氮基化合物(B)和溶剂(C)的感放射线性树脂组合物,其中溶剂(C)为含有乳酸丁酯的溶剂。
地址 日本东京都