发明名称 探头及其制造方法
摘要 在此公开了一种探头及其制造方法,且更具体地,一种具有微小节距的探头及其制造方法,利用所述探头来制造一种探测卡,其对应于在晶片上以集结的形状或其他各种形状形成的垫的设置。所述探头具有规定厚度并以平板形状形成。所述探头包括:主体部分,在其中部弯曲,使得当张力或压缩力在其上端和下端施加到所述主体部分时,所述主体部分被弹性地张紧或压缩;连接部分,与所述主体部分的下端整体地形成,所述连接部分固定到基板;及尖部分,与所述主体部分的上端整体地形成,所述尖部分接触元件的垫。
申请公布号 CN1762050A 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN200480007020.6 申请日期 2004.03.16
申请人 飞而康公司;李亿基 发明人 李亿基;李廷勋
分类号 H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 杨红梅;徐谦
主权项 1.一种探头,具有规定厚度并以平板形状形成,所述探头包括:主体部分,在其中部弯曲,使得当张力或压缩力在其上端和下端施加到所述主体部分时,所述主体部分被弹性地张紧或压缩;连接部分,与所述主体部分的下端整体地形成,所述连接部分固定到基板;及尖部分,与所述主体部分的上端整体地形成,所述尖部分接触元件的垫。
地址 韩国首尔