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发明名称 DEPOSITION OF SiGE ON SILICON-ON-INSULATOR STRUCTURES AND BULK SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1647046(A2) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 EP20040757193 申请日期 2004.07.21
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 BAUER, MATTHIAS
分类号 H01L21/76;C03B1/00;C30B1/00;H01L;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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