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发明名称 Substrate meniscus interface and methods for operation
摘要
申请公布号 EP1583137(A3) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 EP20050251903 申请日期 2005.03.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 WOODS, CARL
分类号 H01L21/00;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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