发明名称 DEVICE FOR LOCKING DOOR IN SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060033373(A) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 KR20040082451 申请日期 2004.10.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUNG JUN
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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