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发明名称 AUTO CONTROL SYSTEM OF PURITY COOLING WATER IN SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060033360(A) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 KR20040082431 申请日期 2004.10.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG NAM
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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