半导体测试系统

摘要

本发明的半导体测试系统包括：测试设备(10)，用于测试包括冗余电路的半导体器件以获得半导体器件的有缺陷部件的故障信息；冗余补救判断设备(14)，其包括用于存储故障信息的故障存储器(36a－36d)，和冗余补救判断单元(40)，用于基于存储在故障存储器(36a－36d)中的故障信息判断是否能做出用冗余电路来代替半导体器件有缺陷部件的冗余补救，并且所述冗余补救判断设备(14)独立于测试设备(10)，其中测试设备(10)和冗余补救判断设备(14)经由网络(12)彼此互联，并且从测试设备(10)将故障信息发送到冗余补救判断设备(14)。

主权项

1.一种半导体测试系统，包括：测试设备，用于测试包括冗余电路的半导体器件，并获得所述半导体器件的有缺陷部件的故障信息；和独立于所述测试设备的冗余补救判断设备，其包括用于存储所述故障信息的故障存储器和冗余补救判断单元，所述冗余补救判断单元基于存储在所述故障存储器中的所述故障信息，判断是否能做出用所述冗余电路来替代所述半导体器件有缺陷部件的冗余补救，所述测试设备和所述冗余补救判断设备经由网络彼此互联，从所述测试设备将所述故障信息发送到所述冗余补救判断设备。