发明名称 |
薄膜电容元件用组合物、高介电常数绝缘膜、薄膜电容元件、薄膜积层电容器及薄膜电容元件的制造方法 |
摘要 |
c轴相对于基板面垂直取向的铋层状化合物,由组成式:(Bi<SUB>2</SUB>O<SUB>2</SUB>)<SUP> 2+</SUP> (A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+1</SUB>)<SUP> 2-</SUP>、或Bi<SUB>2</SUB>A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+3</SUB>表示,所述组成式中的符号m为偶数,符号A为选自Na、K、Pb、Ba、Sr、Ca以及Bi的至少1种元素,符号B为选自Fe、Co、Cr、Ga、Ti、Nb、Ta、Sb、V、Mo以及W的至少1种元素,所述铋层状化合物中的Bi,相对于所述组成式:(Bi<SUB>2</SUB>O<SUB>2</SUB>)<SUP> 2+</SUP> (A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+1</SUB>)<SUP> 2-</SUP>、或Bi<SUB>2</SUB>A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+3</SUB>过剩含有,该Bi的过剩含量,换算为Bi,在0<Bi<0.5×m摩尔的范围内。 |
申请公布号 |
CN1761776A |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
申请号 |
CN200480007724.3 |
申请日期 |
2004.01.16 |
申请人 |
TDK株式会社 |
发明人 |
坂下幸雄 |
分类号 |
C30B29/22(2006.01);C01G29/00(2006.01);C04B35/01(2006.01);H01G4/12(2006.01);H01B3/12(2006.01);H01L27/04(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/22(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
孙秀武;邹雪梅 |
主权项 |
1.薄膜电容元件用组合物,其特征在于,c轴相对于基板面垂直取向的铋层状化合物由组成式:(Bi2O2)2+(Am-1BmO3m+1)2-、或Bi2Am-1BmO3m+3表示,所述组成式中的符号m为偶数,符号A为选自Na、K、Pb、Ba、Sr、Ca以及Bi的至少1种元素,符号B为选自Fe、Co、Cr、Ga、Ti、Nb、Ta、Sb、V、Mo以及W的至少1种元素,所述铋层状化合物中的Bi,相对于所述组成式:(Bi2O2)2+(Am-1BmO3m+1)2-、或Bi2Am-1BmO3m+3过剩含有,该Bi的过剩含量,换算为Bi,在0<Bi<0.5×m摩尔的范围内。 |
地址 |
日本东京都 |