发明名称 薄膜电容元件用组合物、高介电常数绝缘膜、薄膜电容元件、薄膜积层电容器及薄膜电容元件的制造方法
摘要 c轴相对于基板面垂直取向的铋层状化合物,由组成式:(Bi<SUB>2</SUB>O<SUB>2</SUB>)<SUP> 2+</SUP> (A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+1</SUB>)<SUP> 2-</SUP>、或Bi<SUB>2</SUB>A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+3</SUB>表示,所述组成式中的符号m为偶数,符号A为选自Na、K、Pb、Ba、Sr、Ca以及Bi的至少1种元素,符号B为选自Fe、Co、Cr、Ga、Ti、Nb、Ta、Sb、V、Mo以及W的至少1种元素,所述铋层状化合物中的Bi,相对于所述组成式:(Bi<SUB>2</SUB>O<SUB>2</SUB>)<SUP> 2+</SUP> (A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+1</SUB>)<SUP> 2-</SUP>、或Bi<SUB>2</SUB>A<SUB>m-1</SUB>B<SUB>m</SUB>O<SUB>3m+3</SUB>过剩含有,该Bi的过剩含量,换算为Bi,在0<Bi<0.5×m摩尔的范围内。
申请公布号 CN1761776A 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN200480007724.3 申请日期 2004.01.16
申请人 TDK株式会社 发明人 坂下幸雄
分类号 C30B29/22(2006.01);C01G29/00(2006.01);C04B35/01(2006.01);H01G4/12(2006.01);H01B3/12(2006.01);H01L27/04(2006.01) 主分类号 C30B29/22(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 孙秀武;邹雪梅
主权项 1.薄膜电容元件用组合物,其特征在于,c轴相对于基板面垂直取向的铋层状化合物由组成式:(Bi2O2)2+(Am-1BmO3m+1)2-、或Bi2Am-1BmO3m+3表示,所述组成式中的符号m为偶数,符号A为选自Na、K、Pb、Ba、Sr、Ca以及Bi的至少1种元素,符号B为选自Fe、Co、Cr、Ga、Ti、Nb、Ta、Sb、V、Mo以及W的至少1种元素,所述铋层状化合物中的Bi,相对于所述组成式:(Bi2O2)2+(Am-1BmO3m+1)2-、或Bi2Am-1BmO3m+3过剩含有,该Bi的过剩含量,换算为Bi,在0<Bi<0.5×m摩尔的范围内。
地址 日本东京都