| 发明名称 |
High efficiency collector for laser plasma EUV source |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1475807(A3) |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
| 申请号 |
EP20030026822 |
申请日期 |
2003.11.20 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA FOUNDATION, INC. |
发明人 |
ARENBERG, JONATHAN W. |
| 分类号 |
G21K1/06;F21V7/04;G02B5/09;G02B5/10;G03F7/20;G21K5/00;H01L21/027;H05G2/00;H05H1/24 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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