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发明名称 WAFER LIFT EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060033308(A) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 KR20040082342 申请日期 2004.10.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KO, KYUNG SEOK
分类号 H01L21/68;H01L21/02 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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