发明名称 Ultra-uniform silicides in integrated circuit technology
摘要
申请公布号 GB2419233(A) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 GB20050026401 申请日期 2004.07.06
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 ROBERT J CHIU;JEFFREY P PATTON;PAUL R BESSER;MINH VAN NGO
分类号 H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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