| 发明名称 | 薄膜晶体管液晶显示器的蚀刻组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器的蚀刻组合物，特别涉及含有硝酸、醋酸、氟盐、磷酸盐以及水的薄膜晶体管液晶显示器的蚀刻组合物。采用所述组合物通过单一工序即可以以下部膜Al－Nd不产生底切现象的方式对薄膜晶体管液晶显示器中构成像素电极的ITO及构成TFT的栅极配线材料Mo/Al－Nd双重膜进行湿式蚀刻，并可以获得优异的锥形，同时源极/漏极配线材料Mo单一膜也可以形成优异的轮廓。 | ||
| 申请公布号 | CN1760743A | 申请公布日期 | 2006.04.19 |
| 申请号 | CN200510112849.9 | 申请日期 | 2005.10.14 |
| 申请人 | 东进世美肯株式会社 | 发明人 | 李骐范;曺三永;申贤哲;金南绪 |
| 分类号 | G02F1/1368(2006.01);G03F7/32(2006.01) | 主分类号 | G02F1/1368(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 1、一种薄膜晶体管液晶显示器的蚀刻组合物，其包含：a)5重量％～20重量％的硝酸；b)5重量％～20重量％的醋酸；c)0.01重量％～2重量％的氟盐；d)1重量％～10重量％的磷酸盐；e)1重量％～10重量％的氧化辅助剂；以及f)剩余量的水。 | ||
| 地址 | 韩国仁川市 | ||