| 发明名称 | 感放射线性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 一种感放射线性树脂组合物，其含有具有硬化性的碱可溶性树脂(A)、醌二叠氮基化合物(B)、溶剂(C)、硅氧烷系表面活性剂(D)和氟系表面活性剂(E)。 | ||
| 申请公布号 | CN1760758A | 申请公布日期 | 2006.04.19 |
| 申请号 | CN200510113742.6 | 申请日期 | 2005.10.14 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 八子由子;川口裕次郎 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/075(2006.01);G03F7/16(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 孙秀武;邹雪梅 |
| 主权项 | 1.一种感放射线性树脂组合物，其含有具有硬化性的碱可溶性树脂(A)、醌二叠氮基化合物(B)、溶剂(C)、硅氧烷系表面活性剂(D)和氟系表面活性剂(E)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||