发明名称 紫外选择增强硅光电二极管
摘要 紫外选择增强硅光电二极管,它有衬底材料硅,衬底材料硅体表面中有PN结扩散区,衬底材料硅和PN结扩散区体表面上覆盖有二氧化硅层,电极引线分别与衬底材料硅和PN结扩散区连接,其特征在于受光面处露有衬底材料硅。能提高硅光电器件对紫外光的响应度,在400~200nm波段具有比普通硅光电二极管明显增强的紫外响应度,在365nm的响应度达到0.20A/W,且工艺成熟,方法简便,成本低廉。
申请公布号 CN1252836C 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN03125372.5 申请日期 2003.09.03
申请人 武汉大学 发明人 陈炳若
分类号 H01L31/103(2006.01);G01J1/02(2006.01) 主分类号 H01L31/103(2006.01)
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 朱必武
主权项 1、紫外选择增强硅光电二极管,它有衬底材料硅,衬底材料硅体表面中有PN结扩散区,衬底材料硅和PN结扩散区体表面上覆盖有二氧化硅层,电极引线分别与衬底材料硅和PN结扩散区连接,其特征在于受光面处露有衬底材料硅。
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