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发明名称 PLASMA-ENHANCED FILM DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1579027(B1) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 EP20030816980 申请日期 2003.12.18
申请人 CARDINAL CG COMPANY 发明人 HARTIG, KLAUS
分类号 C23C16/44;C23C16/503;C23C16/509;H01J37/34 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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