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发明名称 STAMP FOR USE IN A LITHOGRAPHIC PROCESS, METHOD OF MANUFACTURING A STAMP, AND METHOD OF MANUFACTURING A PATTERNED LAYER ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1171800(B1) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 EP20010900145 申请日期 2001.01.10
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 BLEES, MARTIN, H.
分类号 G03F7/00;B41K1/02;H01L21/48 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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