发明名称 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR100572182(B1) 申请公布日期 2006.04.18
申请号 KR20040011399 申请日期 2004.02.20
申请人 发明人
分类号 G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/40 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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