| 摘要 |
L'invention concerne les cibles de pulvérisation cathodique dont la partie active est formée d'aluminium ou d'un alliage d'aluminium à base très pure sélectionnées selon un procédé approprié et ne comportant p as plus de 0,1 décohésion interne de taille supérieure à 0,1 mm par cm3 de métal actif de la cible, notamment pour les applications nécessitant une très grande finesse de gravure. L'invention concerne aussi un procédé de contrôle par ultrasons de la santé interne qui permet d'obteni r les cibles selon l'invention. Ce procédé consiste notamment, après choix d'un capteur ultrasonore fonctionnant à une fréquence de travail supérieure à 5 MHz, et de préférence entre 10 et 50 MHz, et réglage de la chaîne de mesure appropriée, à partir d'une cible immergée dan s un liquide et présentant certains défauts artificiels simulant les décohésions dans la cible, à effectuer un comptage en taille et en nombr e des décohésions internes par unité de volume et à sélectionner les cibles présentant une densité de décohésions .ltoreq. 0,1 décohésion de taille supérieure à 0,1 mm par cm3 de métal actif de la cible, et de préférence moins de 0,1 décohésion de taille supérieure à 0,04 mm par cm3 de métal actif. L'invention concerne également les précurseurs des cibles de pulvérisation cathodique contenant moins de 0,1décohésion de taille supérieure à 0,04 mm par cm3.
|
