发明名称 END POINT DETECTOR FOR COPPER ELECTRO-PLATING AND DETECTING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060032756(A) 申请公布日期 2006.04.18
申请号 KR20040081703 申请日期 2004.10.13
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JANG, SUNG HO
分类号 H01L21/28;H01L21/66 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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