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发明名称 MAIN PLATE OF SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 KR20060032608(A) 申请公布日期 2006.04.17
申请号 KR20060024889 申请日期 2006.03.17
申请人 MICRO TECH CO., LTD. 发明人 SONG, SUNG TAI
分类号 H01L21/205;G02F1/13;H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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