发明名称 FORMING METHOD OF CONTACT PLUG OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060032481(A) 申请公布日期 2006.04.17
申请号 KR20040081436 申请日期 2004.10.12
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HAN, SANG YEOP
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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