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发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100571627(B1) 申请公布日期 2006.04.17
申请号 KR20040045730 申请日期 2004.06.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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