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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100571864(B1) 申请公布日期 2006.04.17
申请号 KR20030069488 申请日期 2003.10.07
申请人 发明人
分类号 B08B5/00;B08B7/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 B08B5/00
代理机构 代理人
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