| 摘要 |
本发明涉及一种研磨涂有ITO(铟锡氧化物)膜的玻璃基板的研磨装置，它包括有附着有研磨垫的下顶板；用于驱动所述下顶板旋转的旋转驱动装置；对应于下顶板，其下面设有用于放入研磨物的研磨座的上顶板；用于上下移动上顶板，使所述上顶板与下顶板接触，并向下加压的气缸；与所述气缸连接，用于驱动所述上顶板回旋的回旋驱动装置；用于向所述下顶板供应研磨液的研磨液供应装置；用于控制所述旋转驱动装置旋转的旋转控制装置；用于控制所述气缸上下移动和施加压力的压力控制装置；以及用于控制所述回旋驱动装置旋转的回旋控制装置。采用本发明研磨装置研磨涂有ITO膜的玻璃基板表面，可获得低光照度。 |
