发明名称 图案检查装置
摘要 本发明之课题使配线部介与树脂薄膜部分的对比增加,而可藉由反射照明轻易检测出配线图案者。本发明之解决手段形成有配线图案之TAB条带5,系从送出滚轮11被卷送至检查部1。在检查部1以反射照明手段1a照明,用摄像手段1b来摄像TAB条带5上之检查图案。被摄像之检查图案画像会被送至控制部4,与基准图案做比较而判定图案之好坏。反射照明手段1a之光源,系例如仅放射像波长500nm以上光线的红外光LED。因为仅照射透过TAB条带5之波长500nm以上的光线,故可得到对比优良的画像。又使平台1c之红外线反射率在10%以下,则藉由设置平台1c,可得到对比更佳之画像。
申请公布号 TW200612090 申请公布日期 2006.04.16
申请号 TW094120850 申请日期 2005.06.22
申请人 牛尾电机股份有限公司 发明人 林宏树;永森进一
分类号 G01N21/956 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本