| 摘要 |
本发明系提供一种具有测试平台之曝光装置，以及使用有该曝光装置之元件制造方法，该测试平台设有配置为不致引起测试精确度下降之各种测试器。本发明之曝光装置具有与保持晶圆之晶圆载物台互为独立而设置之测试平台。于保持于该测试平台上面之测试平台MTB上设有基准板53，该基准板形成有第一基准标记FM1，其通过空间影像测试装置而使用；及第二基准标记FM2，其用以测试晶圆载物台对于标线片图案之投影像之位置关系。该基准板53及空间影像测试装置配置于投影有来自X轴干涉仪之光束之反射面51X以及投影有来自Y轴干涉仪之光束之反射面50的附近。 |
