辐射敏感性树脂组成物

摘要

一种辐射敏感性树脂组成物，其包含(A)具有硬化性质之硷可溶性树脂，(B)二叠氮基化合物及(C)溶剂，其中溶剂(C)含有式(1)之化合物与乳酸烷酯R^1–O–〔CH(CH3)CH2O〕n–R^2(1)〔在式(1)中，R^1与R^2独立代表带有1–4个碳原子的烷基基团，n代表1–4之整数〕。