发明名称 安装半导体晶片之方法与装置
摘要 一种将半导体晶片(5)安装在基板(2)上的方法,其中基板位置(21)设置在列(22;23;24)中,其中黏附在箔(20)的半导体晶片(5)被放置在晶圆台(4)上,其中利用晶片排出器(6)支援半导体晶片(5)从箔(20)中分离并且其中抓放装置(7)拾取放置在晶片排出器(6)上方的半导体晶片(5)并且将它放置在基板(2)上,其特征在于:–沿着表示为x方向的传输方向向前进给基板(2),–根据下面步骤将半导体晶片(5)装备到预定数目的列(22;23;24)中,–沿传输方向将抓放装置(7)移动到相应要被装备列的x位置,–移动晶片排出器(6)到该x位置,和–装备该列的基板位置(21)。
申请公布号 TW200612502 申请公布日期 2006.04.16
申请号 TW094121839 申请日期 2005.06.29
申请人 恩艾克西斯国际贸易股份有限公司 发明人 戴特威斯克
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人 何金涂;林荣琳
主权项
地址 瑞士