半导体之测试系统

摘要

具备：内部具有多工器及测试合否之判定处理部的主机板11；及内部具有A／D转换部及平均化处理部之副机板12，将构成于被检查对象之晶圆W上的LSI(大型积体电路)所具备的复数个输出端子所输出的复数个类比讯号，以主机板11在早期阶段予以多工处理，来减少讯号数，将该结果以副机板12予以A／D转换及平均化，将被平均化之特性测量资料供应至主机板12，来进行合否判定，藉此，不需要多量被并列化之传送路径或处理电路，可提升产出率之同时，藉由平均化处理，也可减轻载于个别之类比讯号的杂讯之影响。